随着科学技术发展与制造业的发展，对微小尺寸的测量要求越来越迫切，从机器工业、电子工业到生物工程以及环境保护等；从尖端科学 的热核反应到日常生活中的化学纤维，都有微小尺寸测量的问题。如：制导系统的毫米级大小的轴承，机械加工中的小孔、细丝、小球面；光学加工中的镀层厚度，计算机磁头——磁盘间的微小间隙等等，尽管微小尺寸测量的对象各种各样，测量方法不尽相同，但他们共同的特点是：测量范围小，分辨力及精度要求高，自动化程度高，难度很大，面对这样的课题，迫切需要一些新的测量原理方法。

利用电子计算机技术和数据处理的方法，检验和控制处理过程，如圆度仪、三坐标测量机等；利用图像测量与识别技术测量复杂或微小零件，如高精度大规模集成电路线宽的精度测量，航空、航天领域所需的陶瓷类微小元件的精密测量等，在线侧量用坐标测量机的开发与应用。如FMS线上与加工中心组成一体的坐标测量机。它主要用于判别工作的合格性，以掌握线内各机床的工作状态，指导机床调整等工作；

纳米测量技术的开发与应用，如精度长度、角度、定位以及表面微细形状与表面粗糙的测量；新的测量原理的研究与应用。新的测量方法的演技是几何量精密测量仪发展的排头兵，其最为关键，难度也最大，它综合了物理、物性、电子、电磁、材料、机械等多学科的内容，诸如CCD、SMT等都属于创新之列，各种技术的综合应用，这些技术包括微电子技术，控制技术，数字技术，计算机技术，光电技术，新材料和精密机械等，这种综合或集成的发展趋势，必将促使各种技术的紧密结合与综合应用，推动几何量精密测量仪向更高的层次。

精密测量技术是工业发展的基础和先列条件，这以被生产发展的历史所确认，从生产发展的历史来看，机械加工精度提高总是与测量技术的发展水平密切相关，因此有人认为材料、精密加工，精密测量与控制是现代精密工程的三大支柱，对于科学技术来说，测量与控制是使其发展的促进因素，测量的精度和效率在一定程度上决定这科学技术的水平。

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